精密機械システム研究室
工学部/機械工学科
超精密工作機械などに用いる精密な機械システムを開発


精密な加工を行うために開発した装置「スピンドル」
当研究室では、新しい超精密な機械システムの開発と制御について研究しています。開発している機械装置の用途は、主に工作機械、特に超精密工作機械や半導体製造で、これらにはナノメートルオーダーの極めて高い運動精度が求められます。その実現のために、機械装置を流体の圧力によって浮上させる技術を開発し、特許も取得しました。
また、設計用プログラムの開発、三次元CADによる設計、開発した機械装置の性能評価などにも取り組んでおり、一部の研究は企業と共同で研究を進めています。研究室の学生には、国際会議に参加して、英語による研究発表を行う機会を設けています。このように学外の機関などと積極的に関わることで、広い視野を養ってほしいと思っています。
また、設計用プログラムの開発、三次元CADによる設計、開発した機械装置の性能評価などにも取り組んでおり、一部の研究は企業と共同で研究を進めています。研究室の学生には、国際会議に参加して、英語による研究発表を行う機会を設けています。このように学外の機関などと積極的に関わることで、広い視野を養ってほしいと思っています。
Photos
Nakao Yohichi
中尾 陽一 教授
[工学部/機械工学科]
- 専門分野
- 機械工作・生産工学
- 機械力学・制御
- 知能機械学・機械システム
最も高精度の機械システムは工作機械
工作機械とは、さまざまな機械を作るための機械です。精密な製品の製造に用いる金型を作るには、高精度の工作機械が必要になります。すなわち、工作機械は最も高精度な機械システムと言っても過言ではありません。
